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本文研究的问题本文报道了一种基于掠射角物理气相沉积的集成材料制备方案，台区以在单个大面积衬底上形成纳米形状、台区多组分和氧化态可控变化的薄膜材料。这项技术是基于CMS与掠射角物理气相沉积相结合的，负荷通过适当的测量、计算和组件，可以潜在地适用于其他PVD系统。

监测图1|CMS-GREAD系统设置图解。我们总共存放了10个样品，国网并对其中几个样品进行了透射电子显微镜(TEM)检查。